Description:

Invenţia se referă la un procedeu pentru calibrarea dilatării termice a unui cantilever în nanolitografia de tip dip-pen termic. Procedeul conform invenţiei constă din mai multe etape, astfel: într-o primă etapă se realizează un semn (1) de aliniere pe un substrat (2); într-o a doua etapă se preia, prin microscopie de forţă atomică, o imagine a zonei care cuprinde semnul (1) de aliniere, folosind un cantilever la temperatura ambiantă, se memorează poziţia semnului (1) de aliniere în cadrul imaginii, după care cantileverul este readus în poziţia iniţială; într-o a treia etapă se încălzeşte cantileverul, după care se preia o nouă imagine a zonei respective, păstrând constanţi parametrii de lucru şi setările imaginii, se memorează temperatura cantileverului şi/sau curentul electric folosit la încălzirea lui, şi se determină noua poziţie a semnului (1) de aliniere care s-a deplasat pe imagine, pe direcţia lungimii cantileverului, cu o valoare egală cu alungirea termică a acestuia, după care cantileverul este readus în poziţie iniţială; se repetă etapa a treia şi la alte temperaturi, astfel încât să se obţină valoarea alungirii cantileverului până la temperatura maximă de lucru pentru care se doreşte a fi utilizat cantileverul, după care, cu datele obţinute, se realizează o curbă de etalonare cu ajutorul căreia cantileverul va putea fi corect poziţionat în cadrul unui proces de depunere prin nanolitografie de tip dip-pen termic. Invenţia este aplicabilă, de asemenea, oricărui tip de nanolitografie care foloseşte un cantilever încălzit în vederea realizării configuraţiilor dorite.