Description:

Invenţia se referă la o metodă de fabricarea joncţiunilor Josephson tip rampă pe bază de filme subţiri, din supraconductori ceramici. Metoda conform invenţiei constă într-o primă etapă, în care pe un substrat (1) se defineşte o rampă (2) printr-un proces convenţional de litografie şi prin atac fizic cu ioni de Ar, ce formează un unghi ( α ) cu suprafaţa substratului (1), într-o etapă ulterioară, după un tratament chimic şi termic al suprafeţei substratului (1) şi rampei (2), se depun componentele joncţiuni, şi anume, un electrod (3) supraconductor inferior, o barieră (4) nesupraconductoare, un electrod (5) nesupraconductor superior şi un electrod (6) metalic, într-o altă etapă se definesc dimensiunile laterale ale joncţiunii Josephson prin litografie şi atac fizic cu ioni de Ar, în acelaşi timp eliminându-se din jurul joncţiunii electrodul (5) superior şi bariera (4), apoi pe electrodul (3) inferior se depune un electrod (7) metalic, după care se realizează contacte (8) electrice pe cei doi electrozi (6 şi 7) metalici, pentru măsurarea caracteristicilor electrice ale joncţiunii.