Description:

Invenţia se referă la materiale magnetice, sub formă de straturi subţiri, pe bază de AlNiCo, cu aplicaţii în sistemele microelectromecanice, cum sunt senzorii de câmp magnetic, senzorii de actuaţie, dispozitive de actuaţie sau altele asemenea. Materialele conform invenţiei sunt realizate din AlNiFeCoCuNbTi, unde x = 5...12%, y = 10...25%, z = 15...79%, a = 5...40%, b = 1...5%, c = 0...3%, d = 0...10%, straturile fiind folosite în domeniul de temperaturi cuprins între -80 şi 110°C, au o inducţie magnetică la saturaţie B= 0,68...1,35 T, câmpul coercitiv H= 25...160 kA/m, produsul energetic (BH)= 10...60 kJ/ m, iar ca substraturi, se folosesc plăcuţe cu suprafeţe de 0,5 cmşi 1 cm, din siliciu dublu polişat şi ceramică, depunerile având loc în vid, la presiuni joase, cuprinse între 1x10şi 5,9x10mbari, grosimea straturilor depuse fiind cuprinsă între 30 şi 300 nm.