Description:

Invenţia se referă la două metode de obţinere a materialelor magnetice sub formă de straturi subţiri sau filme subţiri, pe bază de AlNiCo, cu aplicaţii în sistemele microelectromecanice, cum sunt senzorii de câmp magnetic, senzorii de actuaţie, dispozitivele de actuaţie şi altele asemenea. Metoda 1, conform invenţiei, pentru depunere prin ablaţie laser pulsată, constă în obţinerea unei piese ţintă, rotundă, cu diametrul de 20...50 mm, din AlNiCo, cu compoziţie prestabilită, prin metoda clasică, care este supusă procesului de smulgere a clusterilor de material, prin ablaţie laser pulsată, proba fiind supusă unui tratament termic în trei etape succesive, la temperaturi de 600, 800 şi 800°C, timp de o oră. Metoda 2, conform invenţiei, pentru depunerea prin pulverizare, constă în obţinerea unei piese ţintă, rotundă, realizată din pulberi de AlNiCo, având diametrul cuprins între 20 şi 50 mm,cu respectarea compoziţiei finale şi cu dispersie granulometrică care să respecte o distribuţie gausiană, piesa fiind supusă apoi evaporării şi pulverizării vaporilor, iar pentru a se obţine o structură cristalină a filmelor subţiri depuse, acestea sunt supuse unui tratament termic în vid, la o temperatură de 600°C, timp de o oră.