Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unor filme ceramice, cu aplicare în microelectronică. Procedeul conform invenţiei constă din prepararea unui amestec precursor, sub forma unei soluţii apoase de azotaţi ai speciilor cationice dorite, la care se adaugă acid citric ca agent de chelare şi alcool polivinilic, din care, prin încălzire, se obţine o soluţie cu viscozitate controlată, care se aplică, prin metode clasice, pe un substrat dorit, care este supus apoi unor tratamente succesive de uscare, piroliză şi sinterizare, din care rezultă filme oxidice subţiri sau multistrat, amorfe sau cristalizate, incolore şi uniform distribuite pe substrat.