Description:

Invenţia se referă la o metodă pentru depunerea filmelor compozite din carbon şi wolfram, prin evaporare cu arc termoionic în vid. Metoda conform invenţiei constă din utilizarea, pentru depunere, a două evaporatoare cu arc termoionic în vid, formate din câte un anod () din grafit şi, respectiv, din wolfram, câte un catod () circular din wolfram încălzit cu ajutorul unor surse () de curent alternativ, şi din nişte cilindri () realizaţi din material inoxidabil refractar, care se introduc într-o cameră de reacţie vidată, unde se introduc şi nişte substraturi () pe care se depun filmele compozite din carbon şi wolfram, situate la o distanţă de 200...250 mm deasupra evaporatoarelor, pe o linie imaginară paralelă cu axa anozilor (), în condiţiile în care se controlează presiunea totală în camera de reacţie, precum şi ratele de depunere a carbonului şi wolframului.