PROCEDEU DE OBŢINERE DE NANOTUBURI CARBONICE PRIN PROCESARE CU LASER CU COPENTRU APLICAŢII ÎN MICROELECTRONICĂ

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO129448

Date: 30.05.2014

Inventor(s):

MORJAN IULIANA [RO]

Applicant(s):
INST NAŢIONAL DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU MICROTEHNOLOGIE [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
B82Y40/00; C01B31/02; C23C16/44

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20120000806
Date: 13.11.2012
Priority number(s):
RO20120000806 13.11.2012
BOPI:
Description:

Invenţia se refră la un procedeu de obţinere de nanotuburi carbonice printr-o metodă de depunere chimică în stare de vapori, indusă cu laser. Depunerea se efectuează pe un substrat constând dintr-o plăcuţă de siliciu, amplasată în centrul unei camere de reacţie, pe plăcuţa de siliciu fiind depuşi în prealabil nişte electrozi în formă de dinţi de fierăstrău, şi nişte particule catalizatoare, procesul de creştere a nanotuburilor carbonice fiind realizat prin introducerea în camera de reacţie a 30 sccm de CH, 180 sccm de NHşi 1000 sccm de Ar, gazele având debite controlate cu ajutorul unor debitmetre masice, electronice, şi fiind amestecate, înainte de a fi introduse în camera de reacţie, într-un amestecător realizat din inox, produşii de reacţie fiind evacuaţi printr-un sistem în oglindă, în condiţiile în care, perpendicular pe plăcuţa de siliciu, este aplicat un fascicul laser, puterea laserului fiind de 60 W, iar timpul de lucru fiind de 2 min.