Descriere:

Invenţia se referă la un dispozitiv de fabricare a tuburilor cu pereţi subţiri şi structură nanocontrolată, care permite controlarea la nivel micro şi nanostructural a filmelor depuse pe substrat rotitor, în vederea optimizării calităţii tuburilor rezultate în urma înlăturării substratului pe care se depune filmul. Dispozitivul conform invenţiei foloseşte o combinaţie de mişcări în timpul depunerii, permiţând ca poziţia unui substrat (1) fixat într-un sistem (2) de prindere să se modifice faţă de direcţia de pulverizare prin mişcarea de rotaţie proprie, asigurată prin intermediul unui motor (3) pas cu pas, şi simultan să permită deplasarea axială a substratului (1) prin intermediul unei sănii (4) a mecanismului de rotaţie şi a unui mecanism (5) acţionat de un motor (6) pas cu pas, respectiv, modificarea orientării unei port-sănii (7) prin intermediul unui mecanism (8) de rotaţie acţionat de un motor (9) pas cu pas, permiţând variaţia continuă sau intermitentă a unghiului dintre direcţia de pulverizare şi axa substratului (1), iar prin intermediul unui orificiu (11) al unei măşti (10) fixate de port-sanie (7) se permite controlul extinderii porţiunii din substratul (1) pe care se efectuează depunerea la un moment dat, iar prin modificarea poziţiei relative a saniei (4) mecanismului de rotaţie faţă de mască (10) se permite controlul zonei din substrat pe care se face depunerea.