Descriere:

Invenţia se referă la un procedeu de realizare şi replicare a unui microrezonator optic. Procedeul conform invenţiei constă în utilizarea tehnicii fotolitografice, în care, peste un strat (2) intermediar de polimer depus pe o plachetă (1) de siliciu, este etalat un strat (3) de fotorezist pozitiv, compatibil cu stratul (2) intermediar, ambele straturi (2 şi 3) fiind expuse printr-o primă mască şi apoi developate, pe placheta astfel configurată se etalează un strat (4) de fotorezist negativ, care este expus printr-o a doua mască şi apoi developat, apoi urmează un tratament termic, după care sunt îndepărtate cele două straturi (2 şi 3) etalate anterior, pentru degajarea microrezonatorului din fotorezistul negativ, care poate fi replicat în continuare, printr-o metodă standard.