METODĂ PENTRU FELIEREA PLACHETELOR SEMICONDUCTOARE ŞI DIELECTRICE FOLOSIND RADIAŢIA LASER

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO126170

Date: 30.03.2011

Inventor(s):

MOAGĂR-POLADIAN GABRIEL [RO]

MOAGĂR-POLADIAN VICTOR [RO]

Applicant(s):
INST NAŢIONAL DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU MICROTEHNOLOGIE [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
B23K26/38; H01L21/428

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20090000404
Date: 27.05.2009
Priority number(s):
RO20090000404 27.05.2009
Related patents:
RO126170
BOPI:
Description:

Invenţia se referă la o metodă pentru felierea unui material, pentru a obţine nişte plachete semiconductoare şi dielectrice. Metoda conform invenţiei constă în crearea, cu ajutorul unui fascicul (1) laser în impulsuri, focalizat într-un material (4), a unor zone (A, B, ....) cu proprietăţi mecanice şi/sau structurale diferite, aceste zone (A, B, ...) fiind coplanare, după care materialul (4) este supus unui efort de forfecare, paralel cu planul în care sunt situate zonele (A, B,...) respective, astfel încât cele două părţi ale materialului (4), separate de acel plan, să se desprindă una de alta, după aceasta urmând un tratament al celor două părţi rezultate din material (4), în vederea şlefuirii suprafeţelor acestora, printr-un procedeu în sine cunoscut, dacă este cazul.