PROCEDEU DE OBŢINERE A STRUCTURII DE TIP TIO/GAAS

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO123630

Date: 27.02.2015

Inventor(s):

CERNEA MARIN [RO]

GHIŢĂ RODICA [RO]

NEGRILĂ CONSTANTIN CĂTĂLIN [RO]

Applicant(s):
INST NAŢIONAL DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
H01L21/033

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20060000736
Date: 22.09.2006
Priority number(s):
RO20060000736 22.09.2006
BOPI:
Description:

Prezenta invenţie se referă la un procedeu de obţinere a unei structuri fotosenzitive de TiOdepus pe suport de GaAs. Conform invenţiei, procedeul constă în depunerea pe substrat din GaAs monocristalin a unui strat subţire de TiO, prin metoda sol-gel, urmată de un tratament termic, la 800°C, timp de 2 h; electrozi din Au-Ge, pe faţa cu GaAs, şi de Au, pe faţa cu TiO, se depun prin evaporare în vid; se face lipirea cu indiu topit, pe faţa Au-Ge/GaAs, şi cu fir de indiu, pe Au/TiO, în aer, la 200-250°C. În final, ansamblul structurii senzitive se încapsulează pe suport tip ambază TO39, cu capac de sticlă.